集聚全球頂級(jí)專家、行業(yè)精英，匯集行業(yè)新技術(shù)、新產(chǎn)品、新成果……昨天，隨著第十四屆中國(guó)國(guó)際納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)開幕，全球納米產(chǎn)業(yè)進(jìn)入“金雞湖時(shí)刻”。2400多家納米技術(shù)相關(guān)企業(yè)集中亮相，爭(zhēng)相展示各自前沿技術(shù)和拳頭產(chǎn)品。金雞湖成為連接全球納米領(lǐng)域“產(chǎn)、學(xué)、研、用”各界的橋梁和紐帶。
蘇企自研設(shè)備實(shí)現(xiàn)高精度無(wú)損檢測(cè)
面對(duì)高精度鋰電池，如何能在無(wú)損電池極片表面的情況下實(shí)現(xiàn)又快又準(zhǔn)的檢測(cè)？展會(huì)上，江蘇自貿(mào)區(qū)蘇州片區(qū)企業(yè)托托科技（蘇州）有限公司帶來(lái)“新解法”。
“傳統(tǒng)檢測(cè)工具很多采用電子束或探針掃描檢測(cè)樣品，最大缺點(diǎn)是會(huì)損傷樣品。我們今年3月推出的檢測(cè)設(shè)備，以光學(xué)非接觸方式進(jìn)行檢測(cè)，可以無(wú)損、高精度判斷高精度金屬表面、生物芯片、半導(dǎo)體芯片等產(chǎn)品的工藝水平?！痹摽罟鈱W(xué)檢測(cè)顯微鏡產(chǎn)品線銷售代表丁一航介紹，產(chǎn)品在X、Y軸方向上的分辨率與傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡一致，但在Z軸上精度非常高，可達(dá)0.1納米的原子級(jí)精度?！肮鈱W(xué)干涉原理決定了檢測(cè)精度，這也是我們的核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)。”
技術(shù)能力不亞于國(guó)外產(chǎn)品，價(jià)格僅為其六七成……展臺(tái)前，托托科技人氣十足。丁一航告訴記者，這款檢測(cè)顯微鏡主要面向半導(dǎo)體等領(lǐng)域的產(chǎn)品研發(fā)，技術(shù)門檻較高，在光學(xué)軟件算法、核證等方面優(yōu)勢(shì)明顯，實(shí)現(xiàn)對(duì)國(guó)外產(chǎn)品的國(guó)產(chǎn)化替代?！拔覀兊漠a(chǎn)品既能滿足不同場(chǎng)景的觀察模式，也可實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)別的分析結(jié)果，獨(dú)有的AI算法還能無(wú)延遲輸出分析結(jié)果，能滿足各類特點(diǎn)場(chǎng)景的檢測(cè)任務(wù)。”丁一航說(shuō)。
激光直寫光刻機(jī)彰顯核心競(jìng)爭(zhēng)力
今年，園區(qū)蟬聯(lián)“MEMS傳感器十大園區(qū)”榜首，實(shí)現(xiàn)四連冠。本屆納博會(huì)上，以微納制造技術(shù)加速新型材料和工藝創(chuàng)新的蘇大維格，帶來(lái)自主研發(fā)的激光圖形化直寫設(shè)備MiScan。
MiScan200激光直寫系統(tǒng)，是對(duì)感光材料進(jìn)行微納米結(jié)構(gòu)制版的重要設(shè)備，是IC集成電路和微納光電子器件產(chǎn)品研發(fā)與制造的核心裝備之一。現(xiàn)場(chǎng)工作人員告訴記者，MiScan200激光直寫系統(tǒng)使用一系列首創(chuàng)方法，能有效突破直寫圖形納米級(jí)精度和設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定性一致性的問(wèn)題，滿足光電子行業(yè)的技術(shù)需求，為光子材料/器件的創(chuàng)新提供不可或缺的原創(chuàng)手段?！斑@款裝備曾獲蘇錫常首臺(tái)（套）重大裝備認(rèn)定，在兩微米左右精度下，每分鐘光刻面積可達(dá)600平方毫米?！惫ぷ魅藛T說(shuō)。
據(jù)了解，蘇大維格是業(yè)內(nèi)少數(shù)擁有微納光學(xué)制造完整產(chǎn)業(yè)鏈的企業(yè)之一，現(xiàn)階段公司的微納光學(xué)制造技術(shù)主要應(yīng)用于公共安全和新型3D印材、消費(fèi)電子新材料和泛半導(dǎo)體等領(lǐng)域。目前，園區(qū)成立了納米加工平臺(tái)、MEMS中試平臺(tái)、測(cè)試分析平臺(tái)、微系統(tǒng)平臺(tái)封裝等產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵支撐平臺(tái)，還成立全國(guó)首個(gè)MEMS產(chǎn)業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)聯(lián)盟，啟動(dòng)全國(guó)首個(gè)MEMS產(chǎn)業(yè)專利池，在聲學(xué)傳感器、壓力傳感器、氣體傳感器等領(lǐng)域形成先發(fā)優(yōu)勢(shì)。
國(guó)外展團(tuán)為本地產(chǎn)業(yè)帶來(lái)全新視角
本屆納博會(huì)更注重產(chǎn)業(yè)鏈全景圖的呈現(xiàn)。以MEMS產(chǎn)業(yè)鏈為例，匯集歌爾、漢威、敏芯等器件設(shè)計(jì)企業(yè)，中國(guó)科學(xué)院納米所、松山湖實(shí)驗(yàn)室、杭州士蘭微等16家量產(chǎn)/代工企業(yè)，勝科納米、微納科技、計(jì)量所等測(cè)試分析企業(yè)，科磊半導(dǎo)體、北方華創(chuàng)、上海微電子裝備、卡爾蔡司等國(guó)內(nèi)外設(shè)備企業(yè)。
“我們希望通過(guò)升級(jí)本屆納博會(huì)的規(guī)模，擴(kuò)大園區(qū)納米技術(shù)應(yīng)用及新材料領(lǐng)域‘朋友圈’。”蘇州納米科技發(fā)展有限公司相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，今年2月和7月，納博會(huì)主席團(tuán)代表攜企業(yè)分赴日韓參加今年日本納米大會(huì)、第22屆韓國(guó)納米大會(huì)，成功邀請(qǐng)日韓企業(yè)組團(tuán)參展今年納博會(huì)。歐洲、伊朗等國(guó)際特色展團(tuán)也將現(xiàn)場(chǎng)參展，集中展示各自國(guó)家在納米技術(shù)領(lǐng)域的最新成果和應(yīng)用，為本地產(chǎn)業(yè)帶來(lái)全新視角。
本屆納博會(huì)邀請(qǐng)到國(guó)內(nèi)外院士20多位、政企及院校專家學(xué)者450余位。主報(bào)告及分論壇報(bào)告中，國(guó)際演講嘉賓約占嘉賓總數(shù)30%?！皩＜掖罂нM(jìn)行思想碰撞，不僅會(huì)帶來(lái)最前沿的技術(shù)視角，也將加快推動(dòng)園區(qū)在納米技術(shù)應(yīng)用及新材料領(lǐng)域更高水平的國(guó)際合作，為加快建設(shè)開放創(chuàng)新的世界一流高科技園區(qū)集聚更多智慧?！痹撠?fù)責(zé)人說(shuō)。
駐園區(qū)首席記者 董捷
《蘇州日?qǐng)?bào)》2024年10月24日A02版
